激光刻蚀TCO薄膜

用激光在以玻璃为基板的TCO薄膜（透明的可导电氧化物）上刻蚀精细电路图形

TCO涂层薄膜包括氧化铟锡（ITO），即可以附着在玻璃或有机聚合物上形成可导电并透光的薄膜，通常情况下是在玻璃基板上附着氧化铟锡（ITO）薄膜。此种ITO涂层玻璃被广泛应用在高端显示屏和触摸屏上。

为在TCO玻璃表面上实现超精细透明的电气应用，需采用TCO薄膜微细刻蚀工艺。经过微细刻蚀的ITO涂层可广泛应用于透明电极，试件支持器，高频屏幕，透明玻璃，透明天线，透明太阳能电池组件，各种形式的加热和光透射装置等。 

制程原理

使用激光在TCO薄膜上刻蚀超精细绝缘沟道，以此方法形成绝缘沟道的工艺可以满足任意尺寸和图形的设计需求，可在透明的基材上实现小于50微米不可视的精细绝缘沟道。